Репозиторий Dspace

Micro-oxidation of silicon surfaces by means of electrical, discharges in impuls [Articol]

Показать сокращенную информацию

dc.contributor.author Topală, Pavel ro
dc.contributor.author Melnic, V. ro
dc.contributor.author Guzgan, D. ro
dc.date.accessioned 2016-09-28T07:39:04Z
dc.date.available 2016-09-28T07:39:04Z
dc.date.issued 2013
dc.identifier.citation Topală, Pavel. Micro-oxidation of silicon surfaces by means of electrical, discharges in impuls / P. Topală, V. Melnic, D. Guzgan // Fizică şi tehnică : procese, modele, experimente : rev. şt. a profilului de cercetare „Proprietăţile fizice ale substanţelor în diverse stări”. - 2013. - Nr 2. - P. 32-36. ro
dc.identifier.uri http://dspace.usarb.md:8080/jspui/handle/123456789/2071
dc.description.abstract Articolul prezintă rezultatele strudiul teoretico-experimental privind formarea peliculelor de oxizi pe suprafeţele din siliciu cu ajutorul oxidării termice rapide în plasma cauzată de descărcările electrice în impuls. Procesul de oxidare a fost obţinut în atmosferă în condiţii normale. Se arată că proprietăţile peliculelor de oxizi depind de puterea disipată pe suprafaţa prelucrată, precum şi de materialul de bază a electrozilor. ro
dc.description.abstract The paper presents the results of the theoretical and experimental study of the formation of oxide films on silicon surfaces by means of rapid thermal oxidation in plasma caused by electrical discharges in impulse. The oxidation process has been carried out under normal atmospheric conditions. It has been shown that the properties of the oxide films depend on the processing power as well as the electrode base materials en
dc.language.iso en en
dc.publisher USARB ro
dc.rights Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internațional *
dc.rights.uri http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ *
dc.subject descărcare electrică ro
dc.subject oxidarea suprafeţelor din siliciu ro
dc.subject pelicule de oxizi ro
dc.subject electrical discharge en
dc.subject oxidation of silicon surface en
dc.subject oxide films en
dc.title Micro-oxidation of silicon surfaces by means of electrical, discharges in impuls [Articol] ro
dc.type Article en


Файлы в этом документе

Icon
Имя: topala_micro.pdf
Размер: 524.3Kb
Формат: PDF
Открыть

The following license files are associated with this item:

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию

Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internațional Except where otherwise noted, this item's license is described as Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internațional